氣體稀釋校準儀

儀(yi) 器特點：

稀釋氣質量流量計可控製到0-10SLM；

源氣質量流量計可控製到0-100SCCM；

4路校準氣入口和1路吹掃口；

1路稀釋氣入口，5路輸出口和1路排空口；

55個(ge) 按鍵薄膜鍵盤；

24位數字輸入/輸出，

2路串行通訊輸出，RS232輸出；

大而明亮的彩色顯示器；

外部PC鍵盤接入端口；

並行打印端口；

空氣源控製端口。

性能參數：

稀釋入口：1路標準；

源氣入口：4路標準，1路吹掃；

稀釋流量：0-10SLM（0-20SLM可選）；

源氣流量：0-100SCCM/0-10000SCCM；

流量精度：≤±1%FS；

流量重複：≤±0.15%FS；

線    性：≤±0.5%FS；

入口壓力：20-35 PSIG；

內(nei) 置臭氧發生器參數：

輸出：5SLPM下0.05-1.5ppm；

精度：1%SP或5SLPM下2ppb；

流量：100±1 SCCM；

紫外燈溫度：50±0.1℃。

內(nei) 置紫外吸收光度計參數：

量程：0-0.5，1.0，2.0ppm；

線性：±1ppb或±1%FS；

精度：±1ppb；

零點漂移：<±1ppb/24小時或30天；

流速：1.0 LPM；

模擬輸出：0-0.1/1/5V。

內(nei) 置稀釋爐參數：

材質：玻璃或特氟龍；

尺寸：1個(ge) 稀釋管；

可調溫度：高於(yu) 環境溫度5度到65度；

溫度精度：<±0.1℃；

操作：55個(ge) 按鍵，鍵盤或串行端口；

校準定義(yi) ：20個(ge) 工廠定義(yi) 流路；

校準類型：氣體(ti) 稀釋，臭氧，GPT；

氣體(ti) 定義(yi) ：2個(ge) 稀釋氣，20個(ge) 源氣；

自動校準：20個(ge) 程序驅動定時，

         7天事件，用戶可自定義(yi) ；

數字輸入/輸出：24位標準輸出；

輸出類型：觸點觸發或TTL邏輯；

通訊：RS232，或以太網TCP/IP。