共創共贏
產(chan) 品概述
稀釋氣質量流量計可控製到0-10SLM；
源氣質量流量計可控製到0-100SCCM；
4路校準氣入口和1路吹掃口；
1路稀釋氣入口，5路輸出口和1路排空口
稀釋入口：1路標準；
源氣入口：4路標準，1路吹掃；
稀釋氣質量流量控製：0-10SLM（0-20SLM可選）；
源氣氣質量流量控製：0-100SCCM/0-2SLM；
流量精度：≤±1%FS；
流量重複：≤±0.15%FS；
線 性：≤±0.5%FS；
入口壓力：20-35 PSIG；
多路輸出：標準6個(ge) 輸出口；
可選件：內(nei) 置臭氧發生器
5SLPM下0.05-1.5ppm；1%SP或5SLPM下2ppb
紫外吸收光度計
量程：0-0.5，1.0，2.0ppm
內(nei) 置滲透管氣體(ti) 發生器
內(nei) 置臭氧發生器參數：
輸出：5SLPM下0.05-1.5ppm；
精度：1%SP或5SLPM下2ppb；
流量：100±1 SCCM；
內(nei) 置紫外吸收光度計參數：
量程：0-0.5，1.0，2.0ppm；
線性：±1ppb或±1%FS；
精度：±1ppb；
內(nei) 置滲透爐參數：
材質：玻璃或特氟龍；
內(nei) 置臭氧發生器參數：
輸出：5SLPM下0.05-1.5ppm；
精度：1%SP或5SLPM下2ppb；
流量：100±1 SCCM；
內(nei) 置紫外吸收光度計參數：
量程：0-0.5，1.0，2.0ppm；
線性：±1ppb或±1%FS；
精度：±1ppb；
內(nei) 置滲透爐參數：
材質：玻璃或特氟龍；
