氦離子化氣相色譜儀(yi) 的工作原理通常都認為(wei) 是基於(yu) 潘寧效應(Penning Effect)。它利用β射線，高壓直流放電、脈衝(chong) 放電、光輻射等能量，以及在高壓電場加速下獲得能量的二次電子與(yu) 氦原子碰撞，將載氣中部分氦原子由基態躍遷到不同能級的激發態，生成亞(ya) 穩態氦原子He*(2S2S1/2,19.8eV)和氦離子He*(1S2S1/2,24.5eV)等，亞(ya) 穩態氦原子間的相互碰撞又將部分的亞(ya) 穩態氦激發為(wei) 氦原子，放出電子。各種能級的激發態氦和其它高能粒子與(yu) 樣品中被測組分的原子或分子碰撞，將能量傳(chuan) 遞給被它們(men) ，並使之電離，因此隻要檢測器內(nei) 存在有達到或超過氖電離勢21.6eV能量，就可將氣體(ti) 中包括氖在內(nei) 的原子或分子發生電離。
氦離子化氣相色譜儀(yi) 優(you) 勢：
①環境友好：氦離子氣相色譜儀(yi) 沒有放射源，老的HID檢測器放射源因受半衰期的影響，能量隨時間逐漸下降，使儀(yi) 器不能保持長時間穩定，且易造成嚴(yan) 重的環境汙染。
②靈敏度高：對大多數化合物檢測限在10ppb量級，與(yu) 放射源氦離子化檢測器(HID)靈敏度相近。
③通用型：氦離子氣相色譜儀(yi) 原則上可以檢測除氖氣以外所有物質，根據實際需要，選用不同色譜柱可以測定多種高純氣中多種雜質氣體(ti) 成分，還可以配接毛細管柱，擴大分離效能，檢測更多種成分。
④安全性好：與(yu) 火焰離子化檢測器(FID)相比，隻需要一種氣體(ti) ，它沒有明火，不需要氫氣，安全性高。
⑤多模式工作：一個(ge) 檢測器可以實現放光離子化、電子捕獲等工作模式，相當於(yu) 多個(ge) 檢測器，既有通用型又有選擇型。
