1，電解法
五氧化二磷傳(chuan) 感器利用電解水分子為(wei) 氫氣與(yu) 氧氣原理。此傳(chuan) 感器由一個(ge) 玻璃材質的圓柱和兩(liang) 根並行的電極組成，根據具體(ti) 應用來選擇電極材質（通常由鉑或銠金屬絲(si) 製成），並在兩(liang) 根電極之間塗有很薄的一層磷酸H3PO4，在兩(liang) 電極之間出現的電解電流，使酸中的水分分解為(wei) H2和O2。此過程的*終產(chan) 物是五氧化二磷，P2O5是高吸濕性物質，因此從(cong) 樣氣中吸收水分，通過連續的電解過程，樣氣的水分含量與(yu) 電解後的水分是應該是平衡的。電極電流與(yu) 樣氣中水分含量成比例，信號經過儀(yi) 器內(nei) 部信號放大器處理，然後顯示並數據讀出。此原理用來測量所有氣體(ti) 。包 括Cl2、HC l 、H2S、H2SO4 、HBr、SO2 、SF6 、CO2等氣體(ti) 和全部惰性氣體(ti) ，極少數會(hui) 同磷酸發生化學反應的氣體(ti) 除外。
P2O5探頭適用於(yu) 測量各種惰性氣體(ti) 、碳氫化合物或根據所選擇的探頭材質應用於(yu) HCl、Cl2或SO2等腐蝕性氣體(ti) 中。探頭與(yu) 樣氣接觸的材料可以是玻璃、鉑或銠，其他材質也可以提供。
樣氣以特別的傳(chuan) 遞方式流經探頭，再結合一個(ge) 高質量的界麵。從(cong) 而確保探頭響應迅速和受幹擾影響較小，這些設計對於(yu) 很低的ppm級測量十分重要。流經探頭的樣氣流速通常設置在 20Nl/h(100Nl/h可選)。與(yu) 分析儀(yi) 的電氣連接器為(wei) 防水密封結構。用戶可以十分容易的在五分鍾內(nei) 完成探頭的再生工作。探頭可以通過3個(ge) M4螺絲(si) 十分容易的安裝在任何地方。
優(you) 點：測試靈敏度高，適合非常微量的水/痕水測試，同時可以測量腐蝕性氣體(ti) 。
缺點：傳(chuan) 感器需要定期重塗。
2，阻容法（電容法）
該微量水分析儀(yi) ,利用一個(ge) 高純鋁棒，表麵氧化成一層超薄的氧化鋁薄膜，其外鍍一層多空的網狀金膜，金膜與(yu) 鋁棒之間形成電容，由於(yu) 氧化鋁薄膜的吸水特性，導致電容值隨樣氣水分的多少而改變，測量該電容值即可得到樣氣的濕度。該方法的主要優(you) 點是測量量程可更低，甚至達-100℃，另一突出優(you) 點是響應速度非常快，從(cong) 幹到濕響應一分鍾可達90%，因而多用於(yu) 現場和快速測量場合；缺點是精度較差，不確定度多為(wei) ±2～3℃。但隨著各廠家的不斷努力，該方法正在逐漸得到完善，例如，通過改變材料和提高工藝使得傳(chuan) 感器穩定度大大提高，通過對傳(chuan) 感器響應曲線的補償(chang) 作到了飽和線性，解決(jue) 了自動校準問題。
優(you) 點：反映速度快。
缺點：精度較差。
3，冷鏡法
該微量水分析儀(yi) ,讓樣氣流經露點冷鏡室的冷凝鏡，通過等壓製冷，使得樣氣達到飽和結露狀態（冷凝鏡上有液滴析出），測量冷凝鏡此時的溫度即是樣氣的露點。該方法的主要優(you) 點是精度高，尤其在采用半導體(ti) 製冷和光電檢測技術後，不確定度甚至可達0.1℃；缺點是響應速度較慢，尤其在露點-60℃以下，平衡時間甚至達幾個(ge) 小時，而且此方法對樣氣的清潔性和腐蝕性要求也較高，否則會(hui) 影響光電檢測效果或產(chan) 生‘偽(wei) 結露’造成測量誤差。
優(you) 點：精度高。
缺點：響應速度慢。
