共創共贏
鈍化技術是以材料表麵塗覆CVD塗層來實現的,CVD是一種通過化學氣相沉積的方法應用於(yu) 材料表麵的技術。
CVD(化學氣相沉積)是一種將揮發性前體(ti) (通常是在真空下)注入腔體(ti) 內(nei) 的反應過程,腔室加熱到反應溫度,使前體(ti) 氣體(ti) 發生反應或分解生成所需的塗層並與(yu) 材料表麵結合。隨著時間推移,塗覆材料建立在表麵上並在暴露部分的表麵形成塗層。
例如,如果想把矽附著在材料表麵,需要使用三氯矽烷(SiHCl3)前體(ti) ,當SiHCl3在腔室加熱時,分解和塗層反應如下:
SiHCl3 → Si + Cl2 + HCl
矽將結合到任何暴露的表麵(內(nei) 部和外部),而氯氣和鹽酸氣體(ti) 將從(cong) 腔室排放並根據適當的法規要求進行清除。
CVD塗層係統中使用的材料從(cong) 矽化合物到碳化合物,到氟碳或有機氟,以及類似氮化鈦這樣的氮化物。一些材料如矽,可以通過摻雜表麵(改變或添加額外的化學物質)來進一步增強塗層的功能,以達到特定的性能目標。
化學氣相沉積不同於(yu) 物理氣相沉積(PVD)等其他常見的塗層應用方法,與(yu) 化學氣相沉積相比,大多數常見的塗層噴塗工藝會(hui) 導致視線外盲區不均勻的塗覆存在,化學氣相沉積塗層理論上可以應用於(yu) 塗層氣體(ti) 能進入的任何區域,下圖形象表示出兩(liang) 種塗覆的區別。
SilcoTek®公司CVD塗層工藝的特點:
·在高溫下應用以促進反應;
·塗裝前必須清除零件表麵的汙染物;
·塗層氣體(ti) 將覆蓋零件的所有區域,包括螺紋、盲孔和內(nei) 部表麵;
·塗層在反應過程中粘結到表麵,與(yu) 典型的PVD塗層相比,創造了*的附著力。
SilcoTek®公司CVD塗層的優(you) 勢:
·可廣泛應用於(yu) 各種基材,包括金屬和金屬合金、陶瓷,玻璃;
·可噴塗精密表麵和複雜表麵,包括密封區域和內(nei) 部表麵;
·能承受低溫、高溫溫度變化;
·持久的塗層與(yu) 基材結合意味著塗層在高應力環境中保持結合,即使基材表麵彎曲也能適應。
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